量子元件暨分子束磊晶實驗室(QD & MBE Lab.)係由賴聰賢教授指導,研究主題為半導體光電積體元件與物理,研究的範圍大都集中在光譜波長980nm~1550nm的光通信波段,而在材料上則為以GaAs及InP為基板的量子井及量子點元件。工作的內容包含了分子束磊晶,光電特性量測與分析,光子積體元件設計及製程,以及元件的量測等四大部分。
茲就其內容簡述如下:
1、分子束磊晶:磊晶片是研製各式特殊功能半導體元件的最重要材料,所謂「巧婦難為無米之炊」沒有磊晶片元件的研製就無從著手。分子束磊晶技術可精準控制材料組成及成長厚度至單一原子層,是半導體磊晶的一大利器,本實驗室配置二部MBE系統,其中之Riber21T機台用於成長InGaAlAs/InP多重量子井及InGaAs/GaAs量子點結構,研製寬波帶半導體光放大器、半導體雷射、MMI耦合器、光波導等主動、被動元件。
2、光電特性量測:由於元件的功能立基於電子(洞)與光子的量子效應及交互作用,半導體光電特性的分析對磊晶片的設計,成長品質以及蘊藏的物理機制,可以得到清楚的瞭解,同時對學生來說可以直接地將課本敘述的物理現象,重現於實驗桌上,深具「從做中學」的教育意義,因此研一新生的學習是從本項工作開始踏入半導體領域。實驗系統由歷屆研究生組裝架設,包括了光譜部分:PL、EL、Photocurrent、differential absorption、PR等,而在電性量測上則有Hall mesurement、I-V、C-V及DLTS等。
3、光子積體元件設計及製程:光子積體元件將多種不同功能的主動、被動光子元件積集於單一磊晶片上,在光路設計及製程上具有相當大的挑戰性,我們以環型共振腔為主,加入 MMI耦合器、SOA、彎曲光波導及垂直反射面,研製積體化的Interleaver、環流鏡雷射、濾波器等,除了基本的黃光室微影蝕刻製程,我們建立了一座電漿製程實驗室,進行介電層沈積、RIE、ICP-RIE、RTP等製程研究,並且利用原子擴散機制,研究量子井混合技術(Quantum Well Intermixing,QWI),以獲得半導體磊晶結構吸收帶藍移的效果。
4、元件量測:光電元件如雷射及SOA等之基本特性如L-I-V、emission/gain spectrum、far-field pattern等之量測,也都自行組建完成。利用Lab-View軟體控制,自動化擷取數據,驗證本實驗室土生土長的元件之操作特性。

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AFM (真空控溫型掃描式探針顯微鏡)


儀器規格
SEIKO E-sweep System 真空控溫型原子力顯微鏡
服務項目
(1)樣品奈米級表面形貌

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目前所做之研究:
1.分子束磊晶
2.半導體積體光電元件
3.高介電層/半導體介面
4.電子束微影束

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準備中

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  • Apr 08 Tue 2008 20:02
  • 儀器


AFM (真空控溫型掃描式探針顯微鏡)

使用規則與收費方式

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實驗室成員聯絡方式


E-mail: tslay@mail.nsysu.edu.tw
研究室: F4004
賴聰賢 教授

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