量子元件暨分子束磊晶實驗室

AFM (真空控溫型掃描式探針顯微鏡)

儀器規格：

SEIKO E-sweep System 真空控溫型原子力顯微鏡

 服務項目：
(1)樣品奈米級表面形貌
(2)樣品表面摩擦力大小分佈圖
(3)量樣品表面磁性分佈圖
(4)測量樣品表面導電性質分佈圖
(5)測量樣品表面Phase分佈圖
(6)測量出樣品表面電位能分佈圖
(7)測量樣品表面穿遂電流分佈圖
(8)以上功能皆可在 -120℃ ~ 300℃ 的溫度範圍量測及真空度可到1×10-6 Torr

 收費辦法： 

 試片準備：

限制特定半導體，須經指導教授核可，有機揮發性材料無法使用，避免污染腔體。

 開放時間：
週一至週五 早上9:00~12:00 下午1:30~6:00
(實際上機時間需與儀器聯絡人聯繫)

 儀器地點：F4016


 聯絡方式 ：
指導教授﹕
光電所 賴聰賢教授
Tel﹕(07)5252000 ext 4458
E-mail﹕ tslay@mail.nsysu.edu.tw  

儀器聯絡人：
AFM － 曾德恩 07-5252000 ext 4461
E-mail：JeffreyTzeng@gmail.com